普利司通公布了面向功率半导体元件的SiC底板开发情况。目前正面向功率元件,样品提供口径分别为2英寸和3英寸的4H型SiC底板。今后将扩大口径,“在2009年内样品供货4英寸产品”(该公司)。
SiC底板的质量方面,如果是顶级产品,则中空贯通缺陷(微管)几乎为零。也就是无微管产品。位错密度方面,“顶级产品低于其他公司产品”(普利司通)。
普利司通除了功率元件用SiC底板外,还提供在LED中使用的6H型以及在高频元件中使用的6H型半绝缘单晶SiC底板。其中,预计功率元件用SiC底板今后将继续增长。
来源:日经BP社
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