2009-4-8

  美国应用材料(Applied Materials,AMAT)2009年3月30日宣布,将与日本迪思科(Disco)共同开发晶圆薄化加工工艺技术(英文发布资料)。
  AMAT表示,要实现半导体的三维积层,需要将芯片和晶圆的厚度最大减薄90%。此次将通过在AMAT的刻蚀、成膜、PVD(Physical Vapor Deposition)以及CMP(化学机械研磨)装置上组合使用迪思科的晶圆研削装置,以提高使用TSV(硅通孔)等三维积层技术的薄化加工工艺的生产能力并削减成本。

                            来源:日经BP社