浜松光电开发出了全球首款采用MEMS技术的光电倍增管“μPMT”。其构造为通过MEMS技术在硅底板上形成光电面及电子倍增部（倍增电极），用2张玻璃底板将其夹住形成。这种构造的最大特点是可轻松进行量产。原来的光电倍增管（PMT：photo multiplier tube）靠人工组装数十个部件，然后封装在玻璃管内，只能少量生产。
　　μPMT的外形尺寸为长13mm×宽10mm×厚2mm，重量为0.5g。与原来号称全球最小的玻璃管PMT“TO-8”（直径1.5cm，长5cm）相比，体积为其1/7，重量为其1/9，实现了小型轻量化。据浜松光电介绍，其工作原理与原来的PMT相同，性能方面也毫不逊色。
　　用途方面，该公司利用其小型轻量及抗冲击性强的特点，主要面向便携式分析设备使用。具体包括，便携式医疗设备（血液分析装置及DNA微阵列等）、水质及大气等的便携式环境监测设备等。
　　光垂直射入PMT。光电面的有效面为1mm×4mm。倍增率为原PMT的100万倍以上，波长为400nm时的量子效率为30～35％。利用MEMS技术，实现了900μm的深槽，形成了倍增部。
　　据浜松光电介绍，此次的传感器特点是体积小，但光电面可扩大至晶圆大小。另外，还考虑采用二维图像传感器设计。
　　该产品将从2011年1月开始样品供货，主要面向研究开发用途。该公司还准备了组合使用电源电路及信号处理电路的“μPMT评测套件”。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　来源：日经BP社