JFE技研开始销售膜厚分布测量装置“FiDiCa”,可在短时间内高精度测量并显示硅晶圆、玻璃、树脂薄膜及金属等表面的薄膜厚度二维分布。该装置分为大约10分钟内能以1024×1536像素(0.2mm网格)的分辨率测量并显示A4尺寸测量对象的高精度款,以及约15秒钟内测量3mm网格的高速款。该装置充分发挥了可将此前必须以“点”为对象进行评测的膜厚作为“面”来观察的特点,将主要用于商品开发、工艺开发、生产管理及质量保证等广泛领域。
该装置采用将1条线分割成1000份之后可同时进行分光测量的特殊分光摄像仪。能够通过扫描测量对象,全面测量A4尺寸的光干涉光谱,并进行数据处理,从而以高分辨率来测量表面薄膜的“分布”。膜厚测量范围为0.1μm~50μm。该公司是全球首家使该装置达到实用水平的的企业。
在信息电子材料、半导体及功能薄膜等的制造方面,管理素材表面生成的氧化膜及树脂膜的厚度是非常重要的项目。以前,测量膜厚时采用基于光干涉的分光膜厚计等,但该方法只能以点为对象进行测量。在薄膜的制造方面,出于均匀制造的需要,市场急需可对膜厚进行二维评测的装置。
来源:日经BP社
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