“静电产生是半导体制程中出现的主要问题之一,对晶圆成品率有着直接的影响。VICTREX ESD PEEK是Victrex特别针对半导体产业开发的新产品。”Vitrex台湾区总经理李自立在SEMICON China 2008展会上介绍到,“采用VICTREX ESD PEEK所制造的晶舟,其特殊的抗静电材质可降低摩擦静电的产生,有效避免因静电导致电路烧坏或因静电吸附导致晶圆遭到污染。同时,VICTREX ESD PEEK具有低颗粒产生的特性,能够减少晶圆与晶舟沟槽之间的接触点形成颗粒,避免造成晶圆瑕疵,进而提升晶圆成品率。
英国Victrex公司着重制造高性能材料,其主打产品VICTREX ESD PEEK除了基本的耐磨性、超高纯度、高耐热性、耐化学腐蚀性以及尺寸稳定性外,还特别添加了抗静电材料,可减少因为摩擦产生的静电以及避免造成电路损坏。此次SEMICON China 2008期间,Vitrex还推出了一种新型VICTREX T系列复合材料TF-60C, 搭配原有的VICTREX ESD PEEK聚合材料和APTIV薄膜,从而提高产品性能、增强设计灵活性,并延长部件使用寿命。
谈到未来的发展时,Victrex华北与华东区域经理于顺东说到:“2007年是Victrex在大中华区发展最为强劲的一年。半导体行业是Victrex在区域内发展的重点专业市场之一,我们希望在未来籍由持续的研究开发、加上与顾客的紧密合作,推出更多符合严苛环境和应用需求的高性能材料。”
来源:SEMI
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