日立显示器日前采用电子迁移率与过去的低温多晶硅(p-Si)TFT相比可提高至2~3倍的结晶成长技术,在茂原工厂的“V3”生产线上试产了IPS(in-plane switching,板内切换)液晶面板。此液晶面板采用了名为“SELAX”的结晶成长技术,为2.4英寸(对角长度6cm)、VGA规格。
SELAX技术是日立制作所2002年开发的,此后由该公司研究开发本部与日立显示器共同开展了量产研究。2004年利用小规模开发设备试产了采用此技术的2.2英寸(对角长度5.6cm)QVGA格式IPS液晶面板,并在同年10月举行的“FPD International 2004”展会上进行了展示。
此次发布的面板是在生产低温p-Si TFT液晶面板的茂原工厂“V3”生产线上试产的。V3生产线是采用第4代730mm×920mm底板的生产线,日立显示器于2005年2月在此生产线上引进了SELAX设备。这次的面板是在完善量产体制的基础上试产的,“只要有业务,马上即可投入量产”(日立显示器业务战略本部)。
SELAX技术的特点在于能够在任意区域形成高性能p-Si薄膜。从这次发布的面板来说,像素区的TFT是利用原有的受激准分子激光器热处理法形成的,源极与驱动器区的TFT则是利用SELAX技术形成的。此次“就连驱动器电路的信号处理部分都嵌入到了玻璃底板上,不需在玻璃上进行IC封装”(日立显示器业务战略本部)。
来源:日经BP社


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