一家合资企业承诺推出一个全新的低温多晶硅工艺，它也标志着在OLED（主动矩阵型有机发光）和LCD有源矩阵液晶显示屏等低成本薄膜晶体管（TFT）平板显示屏上取得了新的突破。而为了实现这个突破，TCZ公司将Cymer公司和Carl Zeiss SMT AG公司的技术结合在一起；前者是深度紫外线激光器的供应商，而后者则为芯片制造和工艺控制提供通用光学系统。
　　TCZ的产品占领了平板显示屏的市场。其薄束定向结晶(TDX)填补了一个空白，该空白一直以来阻碍着成本划算的单板系统(SOP)和玻璃系统(SOG)主动矩阵型LCD和OLED的大规模采用。作为TCZ 900X(见图1)系统的一部分，它对传统的准分子激光退火和序列横向凝固(SLS)的优点起到了杠杆作用。
　　在这个新的TDX方案中，有一个光学薄束利用了所有可用的激光能量。高能激光驱动(相比于传统方法而言)提高了产量。激光长波束让系统可以扫描到整个平板，而不会产生现行方式中经常会碰到的stitching效应，同时它还支持平面拓扑上的横向生长。
　　“成本趋势是平板显示屏的主要驱动力，产生了在产量更大，产出率更高，成本更低的生产过程上的需要，众所周知我们的TCZ 900系统可以使这些成为可能，并使产出率和质量水平得到双重提高。”TCZ’s 的CEO Brian Klene如是说。
　　Klene希望能够将OLED的成本规范化，让之在数年之内降到LCD的成本之下。这两种技术的成本都是会降低的。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　来源：中华液晶网