Rudolph Technologies Inc.近日发布了宏缺陷检测模块——AXi 940。这款新型AXi 940模块将提供晶圆正面检测功能，作为多表面检测系统——ExplorerTM Inspection Cluster的一部分，该工具可在较低的成本下实现快速、精确、可靠的宏检测功能。AXi 940模块将于本周在首尔举行的SEMICON Korea展会上展示。
　　Axi 940的推出象征着三年多来公司软件开发水平到达颠峰，它结合了AXi和Waferview产品线的独特技术优势。这种技术上的融合使业内领先的宏检测方案配备完全重新设计的软件接口，通过改善生产效率、可靠性、减少人工操作使拥有者成本下降。
　　“在过去的一年中，将最新技术投放市场是我们工程师团队的最先目标。”公司执行副总裁兼检测业务部经理Nathan Little说道，“公司的商业推广正快速进行着，第一款配备AXi 940模块的Explorer Inspection Cluster已被公司的试用客户投入使用，第二款计划在4月份出货。这些先发系统主要瞄准先进光刻和CMP工艺的高量产应用。”
　　AXi 940的智能软件使原本许多由设备操作员执行的任务和处理自动化运行，这样大大节省了操作时间。此外，多表面Explorer Inspection Cluster实现了用户可以在保持其他模块运行的同时对AXi 940模块进行脱机处理。而在这之前，如果某个模块需要处理，则整个设备都必须停滞下来。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　来源：SEMI